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“镀膜机”参数说明
| 加工定制： | 是 | 品牌： | 精科华腾 |
“镀膜机”详细介绍
| 部件 | 组成及规格 | |
| 真空室 | 数目 | 单室结构 |
| 材料 | 奥氏体不锈钢（304不锈钢）焊接而成 | |
| 形式 | 方箱形结构前门开启，配F100观察窗可开启 | |
| 尺寸 | 300×300×400mm。 | |
| 顶盖密封 | 氟橡胶密封。 | |
| 接管类型 | 包含两个真空规管接口、若干磁控溅射靶接口、一个高真空阀门接口、一个预抽管道接口、一个观察窗接口、三个充气阀门接口、三个操作机构接口以及两个电气引入接口等。 | |
| 开启方式 | 正面开启 | |
| 照明/烘烤 | 采用碘钨灯照明、2只1000W碘钨灯烘烤、烘烤温度200℃以内。 | |
| 真空获得系统 | 主泵 | 分子泵（620L/S）一台。 |
| 预抽泵 | 6L/S旋片式机械泵一台。 | |
| 前级泵 | ||
| 阀门 | ①高真空阀门采用超高真空（CF150一只）；②预抽阀门采用超高真空角阀（GD-J40一只）；③放气阀门采用超高真空截止阀（GQ-4三只）。 | |
| 电磁充气阀两只。 | ||
| 管道/接头 | 精密不锈钢管、压波纹管构成、快卸接头以及双卡套接头一批。 | |
| 真空测量系统 | 复合真空计（1×10 ~1×10 Pa），规管采用全金属裸规（ZJ-52+ZJ2） | |
| 蒸发系统 | 电阻蒸发源 | 5只水冷蒸发电极，可共蒸（选配可以切换） |
| 安装位置 | 真空室底板。 | |
| 电源 | 电阻蒸发电源两套其中一套可切换，最大电流300A，数显。 | |
| 高压清洗（选配） | 直流高压清洗，最大电压3000V，电流160mA。 | |
| 挡板操作 | 直接转轴三只。 | |
| 基片系统 | 基片尺寸/数量 | 直径£100mm，1块 |
| 基片旋转 | 自转，转速30~120转/分。 | |
| 靶基距 | 250-300mm可调 | |
| 基片加热 | 可加热300℃以下，带水冷。 | |
| 温度控制 | PID控制：精度±1℃。 | |
| 偏压电源 | 可选 | |
| 水冷却系统 | 真空系统冷却 | 分子泵冷却 |
| 薄膜测厚仪 | 水冷探头 | |
| 电极冷却 | 水冷电极 | |
| 膜厚测量 | 测厚仪 | 配备石英晶振薄膜厚度仪一套，含水冷探头。 |
| 控制系统 | 真快控制 | 真空设备、温度、真空度控制。 |
| 机架 | 结构 | 型钢焊接封闭式框架。L1000×W800×H800。 |
