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“任氏巨源3KW微波等离子体化学气相沉积炉”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 企业标准 |
| 品牌： | 任氏巨源 | 加工定制： | 是 |
| 最大电压： | AC380V | 功率： | 4kw |
| 额定温度： | 1500℃ | 主要用途： | 该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、 |
| 产品认证： | 企业标准定制 | 型号： | Wbmw-dlz3 |
| 规格： | 3kw | 商标： | 任氏巨源 |
| 包装： | 多层胶合板木箱 | 尺寸： | 10007501830 |
| 产量： | 99 |
“任氏巨源3KW微波等离子体化学气相沉积炉”详细介绍
微波等离子体化学气相沉积炉
产品应用：
该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
产品特点：1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子环境更均匀。2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
技术参数：
产品应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
产品特点：1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子环境更均匀。2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
技术参数：
型号/modelWBMW-DLZ3
可加热材料非易燃易爆的任何材料
微波频率2.45GHZ±50MHz
加热方式纯微波加热
最大功率/KW3 (功率可调)
最高工作温度/℃1200
长期工作温度/℃≤1100
温度测试元件微波场专用传感器/红外测温可选
控温精度/℃±2（微波场专用传感器）
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mmφ102/φ92x1000
真空系统配置（可选）简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；10-1Pa真空用高档机械泵及真空计；10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计；10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计；
升温速率(标配)0～1000℃/min可任意设定，可编程、分段加热
外型尺寸(长x宽x高)/mm1000´750´1830
微波泄漏量/ mW/㎝≤0.4
提供相关配件防护手套×1、中文说明书×1
保质期整机免费保修1年
